應(yīng)用領(lǐng)域
測量平面，凸面和凹面的面型
長光程長度和遠(yuǎn)程斐索腔測量 真空、低溫室測量
光學(xué)，機(jī)械加工和晶圓表面的在在線測量 熱力學(xué)事件和旋轉(zhuǎn)盤的動態(tài)測量 雙折射效應(yīng)的表征及退除
主要特征： 使用相移模式實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)動態(tài)模式測量，4英寸USB接口干涉儀，更有40mm\60mm口徑可選。 結(jié)構(gòu)類型： 立式和臥式，任意測試方向 靜態(tài)或相移 曲率半徑
Dimetior VB 指標(biāo)參數(shù)：
系統(tǒng)
測試光束
102mm(4.0″)
變焦
1X 到 4X
焦距
+/- 4.0m
衰減
軟件控制
對準(zhǔn)方式
兩點(diǎn)對準(zhǔn)
對準(zhǔn)視場
+/- 1.5 degrees
表現(xiàn)(1)
重復(fù)性 3-Flat(2)
l/300 PV
RMS 重復(fù)性(3)
£1 Å
校準(zhǔn)精度
l/100 PV
未校準(zhǔn)精度
l/70 PV
高度分辨率
l/8000
空間分辨率
1000 X 1000
數(shù)字化
10bits
處理時(shí)間
15 Frames/s
曝光時(shí)間
最小10ms
平均方法
光強(qiáng)和位相
激光器
波長
633nm (其他波長可選)
偏振
線偏
相干性
³100m
供電
110/240 Volts, 50/60 Hz, <25 Watts
機(jī)械
外形尺寸
489 mm x 330 mm x 325 mm
(19.3″ x 13″ x 12.8″)
重量
27 kg (60 lb)
工作環(huán)境(4)
溫度
15 to 30°C (59 to 86°F)
溫度變化率
<1.0°C per 15 min
濕度
Relative 5% to 95%
隔震要求
不需要隔振
(1)溫度范圍20-23°C，溫度變化率<1°C/15分鐘
(2)3-Flat測量采用每組32個(gè)進(jìn)行平均得出3 sigma的重復(fù)性；
(3)3 sigma的rms采用128組數(shù)據(jù)，每組32個(gè)進(jìn)行平均；
(4)這些參數(shù)表明系統(tǒng)可以工作在當(dāng)前環(huán)境中，但并不表示環(huán)境穩(wěn)定性需要滿足這些要求。
可選配件
TS
TF
F/#
0.75
1.5
3.3
7
-
直徑(mm)
130
126
高度(mm)
93
88
70
92.5
30
重量(kg)
3
2.9
2.1
2
0.7
TS半徑
47
120
299
665
精度
£l/10
£l/20
