1.性能參數(shù)
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ITEM # |
COATING |
M |
WD |
EFL |
NA |
TFS |
EA |
L |
SPOT SIZE |
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XWJ-40X-UV |
UV |
40× |
1.5mm |
4.4mm |
0.6 |
1μm |
5.3mm |
43.5mm |
1μm |
注：有限遠(yuǎn)共軛
2.外形尺寸
3.成像質(zhì)量測試報(bào)告
4.檢測結(jié)果
4.1焦距測量
焦距測量的測試波長為綠光（540nm），該波長下的顯微物鏡焦距為5.6mm，實(shí)測焦距為5.3mm
4.3 透過率測量
陪鍍片的剩余反射率曲線
-
利用陪鍍片進(jìn)行測量，陪鍍片厚度：8mm；
-
結(jié)果：內(nèi)透過率：99.6%；零件透過率：98.4%；單面透過率：99.485%
-
整體透過率為94%（193nm處）。
4.2像質(zhì)檢測
a) 顯微物鏡對目標(biāo)（小孔）所成的像
b)能量集中度曲線
c) 點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)
5. 實(shí)物照片
